1、前言

        在半導體設備設備能力和整合電線加工中，的文件、晶圓、基帶芯片的試驗是必不行少的環節。隨著時間推移半導體設備設備能力試驗能力的的發展，大數字式源表SMU結合起來檢測器臺的系統結構就被范圍廣適用于的文件/小集成電路芯片的電學基本基本特征校驗中。大數字式源表SMU要具備源測功能性，需求發生瞬時電流-電阻值(I-V)基本基本特征弧線，是半導體設備設備能力的文件、集成電路芯片電機械性能研究方法考試英文的基本；檢測器臺有帶有大量手動、半全定時和全全定時六種，利用試驗需求選澤智能化的產品只能。在選則時候需要求注意力檢測器的材料做或者針尖的孔徑與外形，檢測器材料做的不同，其輸出阻抗不一致；不僅如此，檢測器尖有損壞和污染問題也會對試驗報告單會造成影晌。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT對接展示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的拼接普通有每種，的一種選擇同中心線拼接，另的一種選擇三同中心線拼接。當精確測量小工作電流值(nA、pA)時，應選擇三同軸電話轉接傳感器和三同中心線纜。在聯接源表維護好下測試軟件英文用電線路中，因此三同軸的維護好層與內芯范圍內是等電位差，不也有漏工作電小產生，可以上升小工作電流值測試軟件英文精密度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣帶；3內攔截層；4里頭層；5外攔截層；6外保護套）

圖：三同中線纜等效電源電源電路圖

  上圖一樣為三同軸網纜等效電路系統圖，打印輸出高端大氣HI和Guard區間內的電位差差可以說為0，于是消失線覽身體的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系列產品直流電壓源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸聯系器與硬性兩芯聯系器有一些·其他，可時接駁數據、一定接地和閉屏掉層，閉屏掉目的好。和多芯電纜不同之處，三同軸電纜結構設計十分簡單，可信高；和兩芯同軸電纜不同之處，具備比較高的閉屏掉耐腐蝕性和小數據的高速傳輸專業能力。三同軸電纜的聯系手段施用了GUARD數據，發揮著了閉屏掉的功效，更優勢于小數據的測量方法。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

便用杜邦線轉BNC母頭進行連接方式；

- 三同軸連接 -

實用三同軸接轉摸塊確定連入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

直觀的使用三同定位軸線做好接連；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將各種類型的三同軸換為各類高壓專門的三同中心線；油田電三同軸接線頭的抗壓力量較為強烈，普賽斯選用的油田電三同軸接線頭需要抗壓3500V。

圖：左-高壓變壓器三同軸、右-普通級三同軸

HCPL 100大電流源表

大工作電流大小值估測時，單根電極限度的工作電流大小值有限責任，工作電流大小值過大將會產生燒針物理現象，影響力軟件測試導致，因為需求應用多電極電容串聯。

圖：多電極串聯提示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面金屬電極接入示圖

圖：異面電極材料聯接表示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。